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電子級多(duō)晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗係統

時間:2017-12-05     來源: 北京德高潔清(qīng)潔設備有限公司

能源和環境問題日益成為各(gè)方關注的(de)焦點,為了實現能源和環(huán)境的可持續發展,世界各國都將太陽能(néng)發電行業(yè)作為(wéi)發展的重。多晶矽還是(shì)信息產業和新能(néng)源產業最基礎的原材料,還原工藝是多晶矽生產的關鍵工藝和成品工藝,其工藝條(tiáo)件和參數控製好壞(huài)直接影響產品質量(liàng)和產量。電子級多晶矽生產工藝要求很高,要在“無油(yóu)、無水、無塵”的環境下運行。
 
多晶矽
 
目前多晶矽生產多數采用改良西門子法,用來生產半(bàn)導體行業電子(zǐ)級多晶矽;還原爐和氫化爐是(shì)改良西門(mén)子法生產多晶矽的核心(xīn)設備,其運行好壞直(zhí)接影響多晶(jīng)矽質(zhì)量及生產成本。鍾罩清洗不幹淨、光潔度(dù)不夠,常常導(dǎo)致矽芯擊不穿或產(chǎn)品質量汙染,所以鍾罩清洗設備對多晶(jīng)矽生產非常重要。
 
經過多年來客戶的實際應(yīng)用和需求,通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外經驗,德高潔對汙染和潔淨的(de)概念和控製有了更(gèng)全(quán)麵的認識,充分發揮高(gāo)壓水清洗和吸除塵的技術優勢,研發電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統。
 
德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包(bāo)括低壓熱(rè)水清洗動力裝置、三(sān)維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統(tǒng)、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工(gōng)作台、電(diàn)氣控製係統等,係統實現了(le)鍾罩的全自動清洗和烘(hōng)幹(gàn)操作。
 
德高潔多晶矽還(hái)原爐鍾(zhōng)罩清洗係統(tǒng)
 
電子級多晶矽還原(yuán)爐鍾罩(zhào)自動清洗係統特點:
 
1、多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗係統以3D形式的網狀噴射來完成(chéng)爐筒內部表麵的(de)水力掃射,加之萬級淨化幹燥係統(tǒng),完(wán)全滿足電子級多晶矽生(shēng)產的(de)需(xū)求。
 
2、自動化程(chéng)度高,清洗時隻需一鍵操作(zuò)即可,操作簡(jiǎn)單方便。自動控製係統能實現對(duì)還原爐鍾罩的(de)自動清洗和烘幹(gàn),清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手動功能。
 
3、在整個還原爐的清洗過程中(zhōng),清洗、幹燥中筒內(nèi)形成微負壓狀態,防止清洗外溢,同時將底座與筒體下法(fǎ)蘭處(chù)的汙染物等一並吹掃(sǎo),通過排汙管排出,從而保證了整個過程不會對潔(jié)淨區造成(chéng)汙染。全密閉式清洗烘(hōng)幹(gàn)係統,使汙染物(廢氣、廢水(shuǐ)等)在受控的條(tiáo)件下,按設計出口排放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
 
4、德高潔電子級多晶(jīng)矽鍾(zhōng)罩清洗係(xì)統性能可靠,核(hé)心部(bù)件、元件和附件原裝進(jìn)口。電子級多(duō)晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統的適應(yīng)範圍廣,一(yī)套係統可以實現多種型號鍾罩(zhào)的清洗烘幹(gàn)。
 
多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,德高潔多晶矽鍾罩清洗係統覆蓋了國內90%的(de)多晶矽企業,為多晶矽行業提供了幾十套還原爐(lú)清洗係統。這套電子(zǐ)級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統經過(guò)反複(fù)摸索求證,可根(gēn)據不同(tóng)的鍾罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節省了人力物力,大(dà)大降(jiàng)低勞動強度,這也(yě)對提高多晶矽品(pǐn)質產生重要意(yì)義,取(qǔ)得了一定的經濟效益和社會效益。
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  • 電子級多晶矽還原爐清洗
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