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首頁 > 技術文章

新型電子級多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係（xì）統

時間：2017-05-31     來源： 北京德（dé）高潔清潔設備有限公司

多晶矽材料是以工業（yè）矽為原料經一係列物理化學反應提純後達到一定純度的電子材料，其具有高純度的特（tè）點，在整個生產過程中，對產品質（zhì）量的控製要求（qiú）很高。在競爭激烈市場價格越來越低的態勢下，更（gèng）好的壓縮成本，也（yě）是多晶矽生產廠家關注的重點。
 
多晶矽生產（chǎn）多采用改良西門（mén）子法，也是用來生產半導體級多晶矽的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核心設備，多晶矽的矽棒就是在其中“生長”出來的，因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。
 
德高潔多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清（qīng）洗係統
 
在多晶矽的生產設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶矽質量和（hé）生產成（chéng）本（běn），一般為降低耗電和成本，采取調整工藝參數、提供進料溫（wēn）度、提高冷卻水溫（wēn）度、清洗鍾罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常（cháng）必（bì）要的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔度如（rú）果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品（pǐn）質（zhì）量汙染。
 
目前多晶矽鍾罩的清洗方式多（duō）種（zhǒng）多（duō）樣，有高（gāo）壓清（qīng）洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽（guī）還（hái）原爐清洗係（xì）統始於2009年，德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲（huò）得實用新型（xíng）專利（lì）的。目前其（qí）設（shè）備應用也是覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為多晶矽行（háng）業提供了幾十套還原爐清洗係統。
 
經（jīng）過多年來客（kè）戶的實際應用（yòng）和需求，通過總結借鑒國內外鍾罩及其它罐類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵（miàn）的（de）認識。德高潔充分發揮高壓水清洗和吸（xī）除塵的技術優勢，研發（fā）半導體級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，實現了鍾（zhōng）罩的全（quán）自動清洗（xǐ）和烘幹操作。
 
1、設備性能可靠
 
德高潔電子級多晶矽（guī）鍾罩清洗係統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。
 
2、自動化程度高
 
自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自（zì）動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自（zì）動清洗和烘幹，清（qīng）洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工（gōng）藝參數可以根（gēn）據需要自行調整設定（dìng），同時具有半自動或手動功能。
 
一次吊裝在一個工作台上完成全部清洗（xǐ）、烘幹過（guò）程，可實現遠程對（duì）樓下設備的控製和主要參數（shù）監控。
 
3、安全（quán）環（huán）保
 
全密閉式清洗烘（hōng）幹係統，使汙染（rǎn）物(廢氣、廢（fèi）水（shuǐ）等)在受控的條件下，按設計出（chū）口排放，基本消除了對現場及操作人員的汙染。
 
德高潔多晶矽鍾罩（zhào）清洗係統按防爆要求設計，加多（duō）處安全互鎖功能（néng）(樓上、樓下操作，缺水（shuǐ）保護，壓力水超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等)。
 
4、適應範（fàn）圍廣
 
可以（yǐ）在一套係統實現多（duō）種（zhǒng）型號（hào）鍾罩的清洗烘幹，現在已經使用的有四種。
 
升級後（hòu）的多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據不同的鍾罩、不（bú）同車間廠房不同能（néng）源（yuán）條件（jiàn），提供個性化設計，節（jiē）省了人力物力，大大降低勞（láo）動強度（dù），這也對提高多晶矽品質產生重要意義。
  • 標簽：
  • 鍾罩
  • 多晶矽
  • 還原爐
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