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德(dé)高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係(xì)統及清(qīng)洗(xǐ)注意事(shì)項(xiàng)
時間:2016-10-21 來源(yuán): 北京德高潔清潔設備有限公司
目前,隨著(zhe)光伏產業的快速發展(zhǎn),對多晶矽的需求量也日趨增大。在多晶(jīng)矽生(shēng)產設備中,還原爐是整個生產係(xì)統的關鍵部件,多晶矽生產企業要(yào)實現(xiàn)節能降(jiàng)耗就(jiù)必須嚴(yán)格把控還原爐的運行。
眾(zhòng)所周知(zhī),對還原爐內壁進行清洗處理(lǐ),就(jiù)是降低能耗的一種有效的方式,通過提高還原爐(lú)內壁光潔度及光亮度,使還原爐在矽棒生長過程中,爐壁在高溫狀態下,對熱輻射反射率的最大化(huà),從而起到降低能耗的作用。
德(dé)高潔多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統是(shì)以高壓清洗(xǐ)機為主機,以(yǐ)高壓(yā)水射流為(wéi)動力(lì)的自(zì)驅動三(sān)維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從(cóng)而完成鍾罩內部表麵的水(shuǐ)力掃射,並(bìng)采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純(chún)水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之(zhī)後再(zài)采用高純水衝洗,最終完成清洗過程。
一、工作(zuò)流程
還原爐鍾罩到位—預清洗—清洗劑(堿液)清洗(xǐ)—漂洗—高純水衝(chōng)洗(xǐ)—淨化熱空(kōng)氣幹燥—常溫幹燥—鍾罩吊走。
二、係統特點(diǎn)
1、德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采(cǎi)用進口高壓(yā)泵,耐(nài)酸堿、耐高溫(wēn)。清洗作業(yè)時(shí)三維旋轉(zhuǎn)噴頭實現自驅動旋轉、自(zì)動升降、全方位自動清洗,保證多晶矽的純(chún)度;
2、設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還(hái)原爐體工藝;
3、自行(háng)研發設計的自驅動旋轉升降噴(pēn)射機構,一套係統實現多種型號還原爐鍾罩(zhào)的清洗烘幹;
4、由於清洗(xǐ)過程中會有氫氣(qì)和(hé)酸性物質產生,德高潔(jié)多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統采用全(quán)封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染;
5、德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統充分利用資源,設計了高壓堿液(yè)和清水的供給和(hé)分開回收裝置,並進行淨化使後序清洗(xǐ)水用於前序的漂洗工序(xù);利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝。
三、注(zhù)意事項
多晶矽還原(yuán)爐內的(de)殘留物及清洗液具有腐蝕性,同時(shí)清洗(xǐ)中殘留氯矽烷會發生水解伴有氫氣(qì)產生,容易產生爆鳴燃燒。因此,現場操作中,需要做好安全防護(hù)措(cuò)施。

1、清洗過程中必須穿戴好勞保用品,戴防護手套;
2、用氫氧化鈉溶液擦(cā)洗基盤時操作(zuò)要緩慢,以免摩擦生熱引起著火;
3、基盤(pán)清洗過程中要避免溶液流進進料管和尾氣管內造成二次汙染,德高潔多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清洗(xǐ)係統采用全(quán)封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染的問題;
4、清洗中要保證將鍾罩烘烤幹(gàn),避免有殘留水分;
5、清洗(xǐ)劑的選擇對清(qīng)洗效果和作業安全有直接影(yǐng)響(xiǎng),這(zhè)方麵(miàn)我公司積累了豐富的實踐經驗解決(jué)閃爆等問題。
- 標簽:
- 鍾罩
- 多晶矽
- 還原爐(lú)
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