新型電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統

多晶矽材料是以工業矽為原料經（jīng）一係列物理化（huà）學反應提（tí）純後達到一定純（chún）度的電（diàn）子材料，其具有高純度的特點，在整個生產過程中，對產品質量的控製要求很高。在競爭激烈市場（chǎng）價格越來越低的態（tài）勢下，更（gèng）好的壓縮成本，也是多（duō）晶矽生產廠家關注的重點。

多晶矽生產多采用改良西門子（zǐ）法，也是（shì）用來生產半導體級多晶矽的主要工藝方法。還（hái）原爐是改良西門子法的核心設備，多（duō）晶矽的矽（guī）棒就是在其中“生長”出來的（de），因此還（hái）原爐的沉積環境的潔淨（jìng）度特別關鍵。


在多晶矽的生產設備中，還原（yuán）爐（lú）運行好壞直接影響多晶矽質量和生產成本，一般（bān）為（wéi）降低耗電和成本，采取調整工（gōng）藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鍾罩等方法。一套好（hǎo）的（de）鍾（zhōng）罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常必（bì）要的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會導致矽芯擊不（bú）穿或產品質量汙染。

目前多晶矽（guī）鍾（zhōng）罩的清洗方式多種（zhǒng）多（duō）樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光（guāng）等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年，德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研（yán）發設計製（zhì）造並獲（huò）得實用新型（xíng）專利的。目前其（qí）設（shè）備應用也是覆蓋了（le）國內90%的多晶矽企業，為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清（qīng）洗係統。

經過多年來（lái）客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外鍾罩及其（qí）它罐類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概念和控（kòng）製有了更全麵的認識（shí）。德高潔充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術（shù）優勢，研發半導體級多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係統，實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。

1、設備性能可靠

德高潔電（diàn）子級多晶矽鍾罩清洗係統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。

2、自動化程度高

自動化程度（dù）高，用PLC+觸摸屏柔性自（zì）動控製係統，能實現對（duì）還原爐鍾罩（zhào）的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫（wēn）度、清洗、漂洗等工藝參數（shù）可以根據（jù）需要自行調整設定，同時具（jù）有半自動或（huò）手動功能。

一次吊裝在一個工作台上完（wán）成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓下設備（bèi）的（de）控製和主要參數監控。

3、安全環保

全密閉式清洗烘幹係統，使（shǐ）汙染物（wù）(廢（fèi）氣、廢水等)在受控的條件下（xià），按設計出口排放（fàng），基本消除了對現場及操作人員的汙染。

德高潔多晶矽鍾罩（zhào）清洗係統按防爆要求設計，加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏電保護（hù），水風工作互鎖等)。

4、適應範圍廣

可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹，現在已經使用的有四種。

升級後的多晶矽還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）可根據不同的鍾罩、不（bú）同（tóng）車（chē）間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節省（shěng）了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶矽品質產生重要意義（yì）。