德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統成為首選(xuǎn)清潔工藝
時間:2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備
多(duō)晶矽,是單(dān)質矽的一(yī)種形態(tài),多晶矽材料是光伏產業的基礎。在生產中,還原爐每(měi)運(yùn)行一個周期,其內表麵都會殘留無定形矽,同時含有氯矽烷水解物及其他(tā)粉塵雜質。因此每運行一個周期需要采用清洗(xǐ)液,並(bìng)根據殘留物分布情況對(duì)還原爐基盤和鍾罩分別(bié)采用特定的清(qīng)理工藝進行處(chù)理。還原工藝(yì)是多晶矽生產的關鍵工藝(yì),其工藝條件和參數控製好壞直接影響(xiǎng)產品質量和產量。

多晶矽在整個生產過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原爐的沉積環境的潔淨(jìng)度要求特別關鍵(jiàn),任何顆粒性雜質(zhì)、油(yóu)脂等物質餘留在爐內,都會對產品質量(liàng)造成影響。北京德高潔清潔設備有限公司經過(guò)研(yán)發設計並製造出了多晶矽自動化(huà)還原(yuán)爐鍾罩清洗係統,可以完(wán)全將多晶矽還原(yuán)爐鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求(qiú)。
德高潔多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統是以高壓清洗機為主機(jī),以高壓水射流(liú)為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表(biǎo)麵,從而(ér)完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純(chún)水(去離子水或叫(jiào)脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水衝洗,最終(zhōng)完成清洗過程。
目(mù)前國內多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法,但德高潔多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統更具(jù)特點:

1、核心部件高壓泵采用進口耐(nài)酸(suān)堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作(zuò)業(yè)時三維旋轉噴頭可實現(xiàn)自驅(qū)動旋轉、自動升降、全方位自動(dòng)清洗,並可保證多晶矽的純(chún)度;
2、利用多(duō)晶矽生產廠家的蒸汽餘熱(rè)將清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣淨化換熱裝置代(dài)替原氮氣電加熱幹燥還原(yuán)爐(lú)體工藝;
4、北京德高潔清潔設備有限公(gōng)司(sī)自行研發設計的自(zì)驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐(lú)體;
5、由於清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生(shēng),所(suǒ)以必須解決二次汙染問題。我公司自行設(shè)計的全封閉式(shì)清洗裝置(zhì)可完美解決二次汙染;
6、設計出高(gāo)壓(yā)堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工(gōng)序,充分利用了廢(fèi)水資源。
還原爐沉積多晶矽是間歇操作,一(yī)個運行周期(qī)結束後需要打開鍾罩收割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯進行下一個周期的化學氣相(xiàng)沉(chén)積。北京(jīng)德(dé)高潔清潔設備有限公司研(yán)發(fā)生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統有效(xiào)解決了生產中的實際問題,方便、快捷、處理效(xiào)果(guǒ)好,目前已成為多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)潔的首選(xuǎn)。

多晶矽在整個生產過程中,對產品質量的控製要求很高,對還原爐的沉積環境的潔淨(jìng)度要求特別關鍵(jiàn),任何顆粒性雜質(zhì)、油(yóu)脂等物質餘留在爐內,都會對產品質量(liàng)造成影響。北京德高潔清潔設備有限公司經過(guò)研(yán)發設計並製造出了多晶矽自動化(huà)還原(yuán)爐鍾罩清洗係統,可以完(wán)全將多晶矽還原(yuán)爐鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求(qiú)。
德高潔多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統是以高壓清洗機為主機(jī),以高壓水射流(liú)為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表(biǎo)麵,從而(ér)完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純(chún)水(去離子水或叫(jiào)脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水衝洗,最終(zhōng)完成清洗過程。
目(mù)前國內多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法,但德高潔多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統更具(jù)特點:

1、核心部件高壓泵采用進口耐(nài)酸(suān)堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作(zuò)業(yè)時三維旋轉噴頭可實現(xiàn)自驅(qū)動旋轉、自動升降、全方位自動(dòng)清洗,並可保證多晶矽的純(chún)度;
2、利用多(duō)晶矽生產廠家的蒸汽餘熱(rè)將清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝;
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣淨化換熱裝置代(dài)替原氮氣電加熱幹燥還原(yuán)爐(lú)體工藝;
4、北京德高潔清潔設備有限公(gōng)司(sī)自行研發設計的自(zì)驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐(lú)體;
5、由於清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生(shēng),所(suǒ)以必須解決二次汙染問題。我公司自行設(shè)計的全封閉式(shì)清洗裝置(zhì)可完美解決二次汙染;
6、設計出高(gāo)壓(yā)堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工(gōng)序,充分利用了廢(fèi)水資源。
還原爐沉積多晶矽是間歇操作,一(yī)個運行周期(qī)結束後需要打開鍾罩收割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯進行下一個周期的化學氣相(xiàng)沉(chén)積。北京(jīng)德(dé)高潔清潔設備有限公司研(yán)發(fā)生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統有效(xiào)解決了生產中的實際問題,方便、快捷、處理效(xiào)果(guǒ)好,目前已成為多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)潔的首選(xuǎn)。
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