多晶（jīng）矽自動化還原爐鍾罩清洗係統

改（gǎi）良（liáng）西門（mén）子法是一種化（huà）學方法，主要由三氯氫矽與氫氣（qì）在1050℃～1150℃，一定壓力（lì）下進行還原氣象沉（chén）積反應生（shēng）產高純多晶矽，該工藝一直是半導體行業電子級多晶矽生產最主要的工藝方（fāng）法。其中，還原（yuán）爐和氫化爐是改良西門（mén）子法生（shēng）產多晶矽（guī）的核心設備，其運行好壞直接影響（xiǎng）多晶矽質量及生（shēng）產成本。還原爐和氫化爐（lú）為電耗較高的設備，一般企業為降低電耗及成本，大都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫、清洗鍾罩等方（fāng）法，其中鍾罩清洗對多晶矽生產（chǎn）非常重（chóng）要，如果鍾罩清洗不（bú）幹淨、光潔度不（bú）夠，常（cháng）常會導致矽芯擊不穿或對產品質量汙染，因此擁有一（yī）套完（wán）善的多晶矽還原爐清洗係統對多晶（jīng）矽生產廠家顯得尤為重要。
 
國內多晶矽鍾罩清洗（xǐ）方式（shì）多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機（jī）械拋光等，但大多釆用堿液（yè）中壓清洗。蘑菇视频在线观看免费在使用過程中發現這些清（qīng）洗方式不能將鍾罩清（qīng）洗幹淨，不能滿足（zú）生（shēng）產需求。為此，北京德高（gāo）潔清（qīng）潔設備有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽自動化還原爐鍾罩（zhào）清洗係統。
 
多晶矽自動化還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統（tǒng）是以高（gāo）壓水（shuǐ）射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀（zhuàng）高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩（zhào）內部表麵的水力掃（sǎo）射，並采用專用清（qīng）洗劑等為主要清洗（xǐ）液，先（xiān）用（yòng）純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之後（hòu）再采用高純水衝洗，最終完成清洗過程。具體特點如下：
 
1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐（nài）高溫、全不鏽鋼的加壓泵，清洗作業（yè）時三維旋轉噴頭可實現自驅動旋轉、自動升降（jiàng）、全方位自動清洗，並可保證（zhèng）多晶矽的純度；

2、利用（yòng）多晶矽生產廠（chǎng）家的蒸汽餘熱將清洗介質加（jiā）熱（rè），從而改變原電加熱工（gōng）藝；

3、利用多晶矽生產廠家的廠家（jiā）蒸汽（qì）餘熱，設置10萬級（jí）空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝；

4、北京德高潔清潔設備有限公（gōng）司自行研（yán）發設計的自驅動旋轉升降噴射（shè）機構可適應各規格的還原爐（lú）體（tǐ）；

5、由於（yú）清（qīng）洗（xǐ）過程（chéng）中會有氫氣和酸性物質產生，所以必須解決二次汙染問題。我公司自行設計的（de）全封閉式清洗裝置可完美解決（jué）二次汙染；

6、設計出高壓堿液和清水（shuǐ）的供給和分開回收裝置，並進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工序，充分利（lì）用了廢水資源。

實際使用證明，北京德高潔清潔設（shè）備有限（xiàn）公司研發生產的多晶矽自動化（huà）還原爐鍾罩清洗係統有效（xiào）解決了生產中的實（shí）際問題，為公（gōng）司節能降耗提（tí）供（gòng）了有利條件，適用於在全國（guó）範圍推廣應用。